檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Lu-Sheng Hong".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="氧化鋁"
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在矽晶太陽電池中晶片表面鈍化及抗光反射為重要的關鍵技術。本研究以原子層沉積法沉積氧化鋁薄膜於矽晶片表面上作為鈍化之使用。首先以電漿輔助原子層沉積系統及熱原子層沉積系統製備氧化鋁薄膜,研究重點為探討氧…
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本論文主要探討矽晶黑晶片表面抗反射結構的製作及其以原子層沉積氧化鋁作為黑晶片表面鈍化的機制。首先我們嘗試找出以水為氧源及三甲基鋁為鋁源的熱原子層沉積法合成氧化鋁膜的自我限制成長條件。結果發現,在基材…
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12吋半導體製程中之化學氣相沉積設備反應室內,所需之精密氧化鋁陶瓷,必須具備有高純度、能抵抗電漿環境中的侵蝕性氣體與300mm以上大尺寸物件的特性。所以,胚體成型的技術是一項重要課題,更需要鑽石工具…